一种大口径非球面凹反射镜面形自动检测装置

一种大口径非球面凹反射镜面形自动检测装置，包括动态干涉仪、补偿透镜组、一次像观察屏、数码相机、运动六足位移台微型机器人和控制计算机。运动六足位移台微型机器人的顶部平台上从左到右沿光路依次放置有动态干涉仪、补偿透镜组、一次像观察屏。控制计算机控制动态干涉仪出射参考光束；控制运动六足位移台微型机器人进行六维姿态调节，使得一次成像点和汇聚成像点的位置重合；驱动动态干涉仪进行干涉检测，读取干涉检测得到的彗差、球差、离焦数据。本发明可以实现快速、自动调节，提升反射镜面形的检测效率。