一种光谱值计算模型训练方法、装置、介质及设备

在本说明书提供的一种光谱值计算模型训练方法、装置、介质及设备，确定目标光谱维度，并获取第一结构参数集合作为训练样本，对应的光谱值作为标注。再根据目标光谱维度构建待训练的光谱值计算模型，将训练样本输入该光谱值计算模型，将输出与标注之间的差异最小为优化目标，训练该光谱值计算模型。根据确定出的目标维度数量，构建待训练的光谱值计算模型，使训练完成的光谱值计算模型输出目标维度数量的光谱值，提高了构建原生数据库的效率。另外光谱值计算模型的大小远小于原生数据库的大小，使得在不同设备进行光学临界尺寸测量时，可通过在不同设备中迁移光谱值计算模型，代替原生数据库的迁移，提高了迁移速度并节省设备的存储资源。