一种超精密切削过程力温信号实时同步测量装置

本发明属于超精密切削加工技术领域，具体涉及一种超精密切削过程力温信号实时同步测量装置。一种超精密切削过程力温信号实时同步测量装置，包括金刚石自感温刀具，金刚石自感温刀具通过压电柔性测力铰链与刀架固定，所述压电柔性测力铰链用于三轴切削力的解耦，将切削力投影到空间坐标系X、Y与Z三轴上，并被检测传感器转化为微弱电荷信号输出到信前置处理模块；通过压电柔性测力铰链与金刚石自感温刀具输出原始微弱电荷信号与电压信号，经由信号前置处理模块处理后，由信号采集模块实时同步采集并输出，实现超精密过程切削温度与三轴切削力的同步精确测量。