一种芯片全自动筛选及检测机台

本发明公开了一种芯片全自动筛选及检测机台，其全自动送料，且对芯片全面进行检测，确保筛选后的芯片质量稳定可靠。其包括：机架，其包括有工作台面、顶部支架，所述机架的工作台面上设置晶圆缓存及分档模块、芯片检测组件，所述顶部支架上设置有晶圆第一搬运模组、晶圆第二搬运模组；以及晶圆料盒的自动上料及多料盒缓存传输架，其包括层叠布置的料盒放置架、料盒转运机构，所述料盒放置架的顶层LP平台用于对接天车、并放置料盒或让天车取走料盒，所述料盒放置架的至少一层为晶圆取放工位，所述料盒放置架的至少一层为料盒缓冲区，所述料盒转运机构用于将各个位置的料盒进行转运作业。