一种基于vision transformer模型的晶圆体缺陷检测方法

本发明提出了一种基于vision transformer模型的晶圆体缺陷检测方法，属于半导体制造与计算机视觉技术交叉领域。该方法通过采集晶圆体正常视角的俯视图和有缺陷视角的俯视图并通过绝对差值法对缺陷位置进行定位。对定位区域进行信息融合，放大缺陷的特征，更加利于模型进行学习。提出L‑Vit结构，该结构把经过绝对差值处理后的数据也转化成矢量序列与有缺陷视角的矢量序列相结合更加突出缺陷的特征。本发明提出新的多头自注意力机制p‑MHA，在多头自注意力机制中加入对q,v相关联的公式，主要目的是使绝对差值序列矢量和有缺陷视角的矢量序列联系更加紧密，同时减少了多头注意力机制的数据量，减少模型的数据量。