可移动石英销装置及液面距离测量系统

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可移动石英销装置及液面距离测量系统
申请号:CN202421257075
申请日期:2024-06-03
公开号:CN222524756U
公开日期:2025-02-25
类型:实用新型专利
摘要
本申请提供一种可移动石英销装置及液面距离测量系统,其中装置包括石英销以及收放控制组件;石英销通过导流筒底部的通孔贯穿导流筒底部,当石英销装置处于测量状态时,石英销下端探出导流筒底部;在硅原料加料的过程中,收起石英销,避免石英销在加料过程中被磕碰导致断裂掉落,污染硅熔液,或沾上溅起的熔硅影响定位功能,达到了更好的液面定位效果;收放控制组件包括石英销连接件、连接件移动机构以及移动机构控制单元,石英销连接件与所述石英销上端固定连接。系统用于在单晶硅生长过程中测量导流筒和硅熔液之间的距离,采用倒影法,通过摄像机拍摄的石英销及其倒影,并上传至图像处理器,图像处理器计算得到精确的液面距离。
技术关键词
石英 导流筒 移动机构 水平件 图像处理器 控制组件 摄像机 电机驱动芯片 控制单元 齿条 耐高温材料 隔热层 石墨材料 条状结构 单晶硅 齿轮 凹槽 通孔