一种改善半导体芯片烧结时腔面损伤的封装辅助装置

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一种改善半导体芯片烧结时腔面损伤的封装辅助装置
申请号:CN202421560124
申请日期:2024-07-03
公开号:CN222884085U
公开日期:2025-05-16
类型:实用新型专利
摘要
本实用新型公开了一种改善半导体芯片烧结时腔面损伤的封装辅助装置,涉及半导体芯片封装技术领域,本实用新型通过在治具上盖顶部内侧阵列竖向设置多个陶瓷背板清洗槽,并在每个陶瓷背板清洗槽内部竖向设置有陶瓷背板,在半导体芯片烧结时,将半导体芯片腔面贴合陶瓷背板的顶面进行烧结,烧结时半导体芯片上所产生的陶瓷颗粒不会遗留在陶瓷背板上,而是顺着陶瓷背板侧部流进陶瓷背板清洗槽内,因而不易出现陶瓷背板、陶瓷颗粒和芯片腔面三者相互接触的情况,芯片腔面不易发生点损现象,不会对芯片造成损伤,提升了烧结合格率。
技术关键词
陶瓷背板 封装辅助装置 治具上盖 治具底板 清洗槽 镀金陶瓷 支撑半导体芯片 聚四氟乙烯板 开口尺寸 螺丝 电极 侧部 阵列