一种适于多向检测且低功耗的流量传感器芯片

本实用新型涉及一种适于多向检测且低功耗的流量传感器芯片。本实用新型包括衬底；分别设置于所述衬底上的呈十字镂空结构的中心热源结构和四组热电堆测温元件，钝化层，分别覆盖于所述中心热源结构和四组热电堆测温元件；遮光隔热层，设置于所述钝化层表面且只覆盖于所述中心热源结构和四组热电堆测温元件各自的热端上方；第一上游热电堆测温元件和第二上游热电堆测温元件均包括多排平行设置的上游测温元件热电堆；第一下游热电堆测温元件和第二下游热电堆测温元件均包括多排平行设置的下游测温元件热电堆。本实用新型具有多向测量能力和自检测功能。