摘要
本申请实施例提供了一种晶圆盒夹持器，用于夹持晶圆盒，晶圆盒的两侧分别设置有托板，晶圆盒夹持器包括连接杆和夹爪，夹爪相对设置且与连接杆连接；两个夹爪分别与晶圆盒夹紧；第一微动传感器与机械臂电连接，两个夹爪的顶部设置有安装槽，安装槽的总数量与第一微动传感器的总数量相同且一一对应，第一微动传感器均安装在对应安装槽内，两个夹爪与晶圆盒夹紧时，每一个托板压在对应夹爪上的第一微动传感器上，且每一个第一微动传感器处于被压入对应安装槽内的状态时，机械臂驱使晶圆盒夹持器运动。当两个托板未与全部的第一微动传感器接触时，两个夹爪立刻夹持抱紧在晶圆盒上，降低晶圆盒因放置位置存有倾斜情况而造成晶圆盒运输过程脱落的风险。
