晶圆载板及固晶检验装置

本实用新型涉及晶圆技术领域，具体而言，涉及一种晶圆载板及固晶检验装置。该晶圆载板包括主板以及至少一个胶层，主板设置有至少一组定位标记组，定位标记组包括沿第一预设方向依次间隔分布的多个标记；胶层沿第一预设方向设置于主板，胶层用于依次对照标记粘接多个晶圆。该晶圆载板通过在主板上设置定位标记组以对胶层进行定位，从而将晶圆放置于对应的胶层上，即利用主板放置晶圆，并利用胶层粘接稳固晶圆，当需要放入不同的晶圆可将原晶圆取下，再重新粘连新的晶圆，从而实现反复使用，该晶圆载板结构更简单，且成本较低。