一种超透镜、匀光模组、匀光发射装置以及机器视觉系统

本申请提供了一种超透镜、匀光模组、匀光发射装置以及机器视觉系统，所述超透镜包括：基底以及设于所述基底的微纳结构；所述超透镜用于接收多模光纤耦合光源的发射光，并将所述发射光调制为匀光光束，所述匀光光束在目标平面上形成匀化光斑；其中，所述超透镜的相位包括匀光相位和准直相位；所述匀光相位用于对所述超透镜所接收到的光束的光强分布进行匀化；所述准直相位用于对所述超透镜所接收到的光束进行准直。本申请通过提供一种通过超透镜对所接收到的光束进行准直和扩散的匀光模组，使得匀光模组将所接收到的光束投射成边缘准直度高的匀化光斑的同时，简化了匀光模组的结构，减小了匀光模组的体积，也降低了匀光模组的生产成本。