一种用于CMOS芯片外观检测的设备
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一种用于CMOS芯片外观检测的设备
申请号:
CN202422588959
申请日期:
2024-10-25
公开号:
CN223449834U
公开日期:
2025-10-17
类型:
实用新型专利
摘要
本实用新型公开了一种用于CMOS芯片外观检测的设备,包括用于输送载板的上料输送机构、检测机构以及顶升机构;所述上料输送机构包括相互平行设置的安装支架一以及安装支架二,所述安装支架一与安装支架二上均设置有若干能将载板移送至检测机构下方的磁力轮,所述顶升机构位于载板下方且包括顶升驱动件、位于其驱动端的升降板以及位于升降板上方的限位板,所述升降板与限位板之间留有供光源板安装的限定空间。本实用新型自动检测芯片是否崩裂以及芯片表面是否存在缺口,提高芯片外观检测的效率以及精度。
技术关键词
芯片外观检测
安装支架
上料输送机构
顶升机构
检测机构
磁力轮
升降板
检测相机
光源板
电机转动轴
挡停机构
驱动件
载板
清洁机构
透光孔
检测台
缓冲弹簧
防护罩