一种基板处理系统

本实用新型提供了一种基板处理系统，包括多个工位、转运装置和传送装置；其中，转运装置设置在所述工位上，用于取放所述基板；传送装置沿所述多个工位的排布方向设置，用于将所述基板转运至任意工位处，供所述转运装置取用。本实用新型的基板处理系统通过转运装置和传送装置配合完成基板的转运工作，大幅度提高了基板的转运效率。进一步的，在通过传送装置转运所述基板的同时，不影响其他工位的正常工作，有效提高了基板转运系统的效能。