一种一体化阀组、气体处理单元、稀释制冷机及量子计算机

本实用新型公开了一种一体化阀组、气体处理单元、稀释制冷机及量子计算机，一体化阀组包括阀体、阀芯和控制阀，气体处理单元包括一体化阀组、气库、泵组、过滤器、流量计和压力计，稀释制冷机包括气体处理单元、制冷单元、抽空单元、控制单元和预冷单元，量子计算机包括稀释制冷机、线路连接分系统、量子芯片分系统和测控分系统。本实用新型通过一体化阀组将除泵组和气库以外的流通阀、压力计、流量计等组件统一安装到阀体上，在其端面开设阀盲孔，通过内部预设流道来模拟管路连接形成闭合回路；通过优化阀芯结构以适配对应阀体，整体结构紧凑，集装化程度高，有效提高了密封效果，降低了工质气体泄漏风险和维护成本。