芯片转移装置及芯片上料设备

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芯片转移装置及芯片上料设备
申请号:CN202422841448
申请日期:2024-11-21
公开号:CN223390526U
公开日期:2025-09-26
类型:实用新型专利
摘要
本申请涉及一种芯片转移装置及芯片上料设备,包括机架、工作台、拾取翻转机构和转交机构;工作台设于机架上,工作台用于承载并处理晶圆;拾取翻转机构包括第一驱动模组和两个拾取翻转组件,第一驱动模组位于工作台沿第一方向的一侧并设于机架上;两个拾取翻转组件与第一驱动模组连接;拾取翻转组件用于拾取并带动晶圆上的芯片翻转180°;第一驱动模组用于驱动两个拾取翻转组件沿第一方向交替运动;转交机构包括两个转移组件,两个转移组件位于工作台沿第二方向的两侧;两个转移组件与两个拾取翻转组件对应,每一转移组件用于承接并转移对应的拾取翻转组件上的芯片。如此,能够降低芯片发生污染和损伤的风险,降低人工成本,提高芯片生产效率。
技术关键词
芯片转移装置 驱动模组 翻转组件 顶针组件 成像单元 移动组件 夹持组件 工作台 旋转组件 上料设备 机架 翻转机构 直线 晶圆 真空腔体 驱动件 支撑座 运动