摘要
一种波导结构、硅光芯片、探测装置及终端设备,涉及传感器技术领域,用以提高波导结构的模斑尺寸。波导结构包括N级波导,第一级波导包括N个第一波导单元,第I级波导最多包括N‑I+2个第二波导单元和N‑I+1个第一波导单元,N‑I+2个第二波导单元与第I‑1级波导中的第一波导单元相连,在存在第I+1级波导时,N‑I+1个第一波导单元与第I+1级波导中的第二波导单元相连,第I级波导用于实现光信号在第一波导单元与第二波导单元之间的耦合传输,N为大于或等于2的整数,I为大于或等于2且小于或等于N的整数。该波导结构可以实现大模斑的信号接收或信号发射,可提高端口的耦合效率。