存储芯片多层面厚度测量框架

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存储芯片多层面厚度测量框架
申请号:CN202423101245
申请日期:2024-12-16
公开号:CN223470637U
公开日期:2025-10-24
类型:实用新型专利
摘要
本实用新型涉及测量工具技术领域,公开了存储芯片多层面厚度测量框架,包括底板、多个吸盘和连接板,所述底板的顶部固定连接有真空箱,所述真空箱的右侧连通有负压风机,所述真空箱顶部固定连接有支撑板,多个所述吸盘的底部均贯穿支撑板的内部,多个所述吸盘的左右侧均固定连接有固定耳,多个所述固定耳的内壁均固定连接有固定套筒,多个所述固定套筒的内部均滑动连接有按压板。本实用新型中,按压板受到按压,连接杆推动限定块向下移动,当阻挡球露出固定套筒卡在限定槽内,完成对吸盘的固定,按压板再次受到按压,阻挡球缩回至固定套筒的内部时,将固定套筒从限定槽的内部拉出,完成对吸盘的拆卸。
技术关键词
存储芯片 真空箱 阻挡球 负压风机 循环风机 框架 吸尘机构 套筒 密闭门 收集箱 阻挡板 测量仪 底板 气管 螺纹杆 合页 进气端 控制器 防滑套
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