一种平整固定晶圆小晶粒平台

本实用新型公开了一种平整固定晶圆小晶粒平台，涉及芯片检测技术领域，包括内部为中空结构的载物台，载物台顶端的后部固定安装有纵向支架，纵向支架的顶端固定安装有横向支架，横向支架底端的前部固定安装有伸缩机构，伸缩机构的执行端固定安装有平整头，载物台的顶端前侧设置有主控单元，主控单元包括安装于载物台内的主控板、嵌入载物台顶端的显示器和设置于显示器右侧载物台上的多个控制按钮，主控板分别与伸缩机构、显示器和多个控制按钮信号连接，本实用新型通过伸缩机构驱动平整头对晶圆小晶粒进行精确平整，确保小晶粒底端与载具顶端完全贴合，提高晶圆的质量与性能。