一种飞秒激光诱导等离子体SERS基底制备方法及应用

本发明公开了一种飞秒激光诱导等离子体SERS基底的制备方法，以及等离子体SERS基底在微流控芯片制备中的应用，以及等离子体SERS基底微流控芯片用于海水中铅离子的痕量检测。本发明法采用掺金纳米颗粒的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)材料，通过紫外光刻技术在硅片上制备圆柱型模板，并将掺金PMMA倒入模板中制备出圆柱形结构。随后利用飞秒激光改性将基底外表面粗糙化，并最终通过飞秒激光加工技术将圆柱形结构加工为具有火山口形貌的微纳结构。本发明利用激光诱导等离子体膨胀原理，突破了原有微米级别工艺的精度上限，实现了纳米级别精度的结构调控，大幅提升了基底的SERS信号，增强了对铅离子的检测灵敏度。