动平衡监测方法、系统、设备、存储介质以及程序产品

一种动平衡监测方法、系统、设备、存储介质以及程序产品，在动平衡监测方法工作时，采用神经网络模型对测试振动波形图进行训练，获得测试标签，将此测试标签与已知各种故障类型下的特定标签进行比对，如果测试标签与某个故障类型的特征标签相匹配，则可判定待确认主轴存在相同的故障类型；如果测试标签与所有已知故障标签均不匹配，则可认为待确认主轴工作正常。本发明实施例提供的动平衡监测方法，可以实时监测半导体设备的主轴动平衡状态。