一种等离子体参数探针-微波协同诊断系统

本发明公开了一种等离子体参数探针‑微波协同诊断系统，其包括诊断探针、反射天线、矢量网络分析仪和电脑终端。本发明通过诊断探针和反射天线，提供了对等离子体参数的全局和局部信息，通过训练后的神经网络模型对S11数据和诊断探针所在监测点的等离子体电子密度进行反演，获取等离子体的密度分布和等离子体碰撞频率，完成对等离子体的协同诊断，可以快速、准确地获取等离子体的密度分布和等离子体碰撞频率。