微机电系统（MEMS）及其制造方法

申请号：CN202510027793

申请日期：2025-01-08

公开号：CN120698410A

公开日期：2025-09-26

类型：发明专利

摘要

本申请提供微机电系统(MEMS)及其制造方法。一种微机电系统(MEMS)的致动器包括半导体衬底。该致动器包括设置在半导体衬底之上的微机械臂阵列。该致动器包括设置在微机械臂之上的第一封盖构件。该致动器包括第二封盖构件，第二封盖构件与第一封盖构件相对设置，使得微机械臂在第一封盖构件和第二封盖构件之间沿竖直方向延伸。

技术关键词

封盖构件微机械微机电系统半导体衬底沟槽多层结构阵列半导体层机械臂半导体材料致动器实体蚀刻导电