基于纳米机器人的坩埚气泡检测方法、系统及存储介质

本发明提供了基于纳米机器人的坩埚气泡检测方法、系统及存储介质，涉及质量检测技术领域，通过根据历史坩埚检测数据分析定位动态检测路径；在运动驱动模块以动态检测路径为约束，引导纳米机器人移动于待检测石英坩埚表面过程中，同步运行智能决策模块进行气泡检测处理，输出实时气泡分布热图。解决了现有技术存在坩埚气泡检测效率低下，且无法准确识别某些隐蔽或难以触及的气泡，导致检测结果的准确性和全面性受到限制的技术问题。达到了在精确、智能地识别并处理不同类型的气泡，确保高效的气泡检测与处理的同时，提升坩埚整体气泡检测和处理效率的技术效果。