一种氧化镓衬底位错自动识别系统及其识别方法

本发明公开了一种氧化镓衬底位错自动识别系统及其识别方法，涉及图像处理技术领域，包括对标准氧化镓衬底图像进行分析处理，获取标准氧化镓衬底图像的相关参数。本发明先是对标准氧化镓衬底图像进行分析，确定待识别氧化镓衬底的拍摄位置和拍摄参数，使待识别氧化镓衬底图像和标准氧化镓衬底图像的参数保持一致，提高了氧化镓衬底位错识别的精准度，然后，在频域中对标准氧化镓衬底图像和待识别氧化镓衬底图像进行功率谱密度分析，确定待识别氧化镓衬底是否为异常氧化镓衬底，最后，通过氧化镓衬底位错图像的频域特征对异常氧化镓衬底的频域特征进行筛选，确定氧化镓衬底位错信息，上述识别方法不仅降低了工作人员的工作强度，还提高了识别精度。