一种连续式共晶机及其使用方法

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一种连续式共晶机及其使用方法
申请号:CN202510102870
申请日期:2025-01-22
公开号:CN119943689A
公开日期:2025-05-06
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种连续式共晶机及其使用方法,涉及半导体制造技术领域。该连续式共晶机按照预设的芯片提取顺序,通过旋转组件带动第一环座旋转,以使顺序为第一的芯片的第一环座旋转至待提取位置,再通过转移组件将顺序为第一的芯片转移至第一校准工位,最后移动至共晶工位,同理依次将第一环座上的芯片按照预设的芯片提取顺序,全部转移至共晶工位,在第一环座上的芯片转移的同时,通过转移组件将第二环座上的芯片先转移至第二校准工位,再移动至共晶工位,第二环座上芯片插入第一环座上芯片的顺序可根据需求来设计,提前计算好时机即可,因此第一环座上和第二环座上的芯片的铺设顺序是多样化的,从而提高共晶机的生产灵活性和适应性。
技术关键词
共晶机 工位 芯片 检测仪 旋转组件 校准 移动组件 摆臂 旋转平台 移动座 膜结构 顶针 压力开关 底座 驱动旋转轴 校正 电机