摘要
本发明公开了一种振镜系统及光束调节方法,该振镜系统包括:激光发生装置,用于发出激光束;光束调节模组,用于对激光束的光束直径进行调节;振镜模组,用于对激光束的光束位置进行调节;F‑theta镜,用于将激光束聚焦为光斑;上位机,设置有多轴振镜运动控制卡,多轴振镜运动控制卡与光束调节模组和振镜模组通讯连接;上位机用于接收光束调节指令,并输入至多轴振镜运动控制卡中,以使多轴振镜运动控制卡同时向光束调节模组和振镜模组发送指令。本发明通过多轴振镜运动控制卡同时向光束调节模组和振镜模组发送指令,以对激光束进行相应的调节,如此不仅解决了振镜系统中的延时问题,还提高了振镜系统的加工精度。