一种基于晶圆图生成缺陷类别和缺陷描述的方法及装置

本发明涉及一种基于晶圆图生成缺陷类别和缺陷描述的方法及装置，方法包括：获取目标晶圆的缺陷视图、放大视图和顶视图；将所述缺陷视图、放大视图和顶视图分别输入到CLIP模型的图像编码器中，得到各自对应第一图像表征、第二图像表征和第三图像表征；将所述第一图像表征、第二图像表征和第三图像表征进行融合，得到融合图像表征；使用CLIP模型的文本编码器对预设的多个缺陷标签分别进行编码，得到多个标签文本表征；将所述融合图像表征与各个标签文本表征分别进行相似度比较，根据相似度比较结果确定所述目标晶圆的缺陷类别；将所述融合图像表征，输入到预训练的LSTM模型中，得到所述目标晶圆的第一缺陷描述。