基于子孔径拼接与CGH补偿的低中频误差同步检测方法

本发明涉及面形检测领域，尤其涉及一种基于子孔径拼接与CGH补偿的低中频误差同步检测方法，设计全口径CGH补偿器，并根据全口径CGH补偿器对非球柱面元件的待检面进行全口径检测，获得全口径检测结果；根据非球柱面元件的待检面的面形进行子孔径规划，并设计与每个子孔径相应的子孔径CGH补偿器，并根据各子孔径CGH补偿器对非球柱面元件的待检面进行子口径拼接检测，获得拼接检测结果；其中，采用分层平滑优化算法对相邻两个子孔径之间的重叠区域进行相位平滑处理；利用全口径检测结果中的低频信息，标定各子孔径的位置，修正各子孔径的位移误差。本发明能够实现非球柱面元件低中频误差的同步高精度同步检测。