基于视觉识别的VCSEL芯片外观缺陷检测系统及方法

本发明公开了基于视觉识别的VCSEL芯片外观缺陷检测系统及方法，属于外观缺陷检测技术领域。本发明采集芯片图像，进行有源区检测得到有源区参数，将芯片图像和有源区参数进行关联，得到芯片外观检测数据集；训练卷积神经网络模型，将待检测的芯片图像输入到训练好的卷积神经网络模型中，得到有源区异常数据集；将有源区异常数据集中的异常类型和异常位置整合进行聚类分析，结合有源区参数，计算每个聚类簇内参数的均值和标准差；将每个聚类簇作为一个节点，依据聚类簇之间的相似性确定边；计算每个节点的度，识别图中的子图结构；将不同时间点的子图结构进行对比，判断有源区异常数据集中的异常数据是否具备可逆性。