摘要
本申请公开了一种基于研磨机平面度的检测系统,涉及平面度测量技术领域,解决了现有的研磨盘平面度检测系统缺乏对不同研磨盘检测的针对性,导致研磨盘平面度检测结果准确度不够的技术问题;包括:数据采集模块:获取扫描数据和线激光的工作温度;检测信号生成模块:获取若干历史研磨数据,根据历史研磨数据生成研磨盘检测信号;检测方案生成模块:通过数据库获取研磨盘的研磨盘特征数据;根据研磨盘特征数据生成检测方案;线激光检测模块:获取检测方案,根据检测方案进行研磨盘检测;实时获取工作温度,根据工作温度生成校准方案,根据校准方案调整线激光;根据若干扫描数据生成对应研磨盘的检测结果;保证了研磨盘平整度检测的准确性。