基于机器视觉的双层复合石英坩埚表面缺陷检测方法

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基于机器视觉的双层复合石英坩埚表面缺陷检测方法
申请号:CN202510172586
申请日期:2025-02-17
公开号:CN120259720A
公开日期:2025-07-04
类型:发明专利
摘要
本发明公开了基于机器视觉的双层复合石英坩埚表面缺陷检测方法,涉及坩埚表面缺陷检测技术领域,包括以下步骤:传送带以预设的速度将双层复合石英坩埚输送至检测区域,确保每个坩埚能够在生产线上按顺序移动,稳定地进入机器视觉系统的检测视野。本发明通过提取微观结构变化指数和裂纹间隔变异性指数等关键特征,机器视觉系统能更精确地识别复杂缺陷,避免误判和漏检。该方法通过增强图像处理,提高复杂缺陷的检测精度。结合机器学习模型,系统智能评估缺陷复杂度并动态调整传送带速度。对于简单缺陷,保持高速度以不影响生产节奏;对于复杂缺陷,降低传送带速度,为细致分析提供时间,从而提高缺陷识别率,确保高效生产同时保证产品质量。
技术关键词
石英坩埚表面 缺陷检测方法 机器视觉系统 表面微观结构 裂纹 复杂度 指数 机器学习模型 传送带 微观结构特征 图像 速度 深度学习模型 纹理分析方法 因子 表达式 微结构特征