一种半导体芯片加工用切割装置

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一种半导体芯片加工用切割装置
申请号:CN202510178221
申请日期:2025-02-18
公开号:CN119795403A
公开日期:2025-04-11
类型:发明专利
摘要
一种半导体芯片加工用切割装置,属于半导体芯片加工技术领域,为了解决工人未将固定螺母紧固到位时,导致刀片在高速旋转的过程中出现偏移,影响切割精度的问题,本发明中电机外壳的侧壁上固定安装有支撑架,且电机输出轴的圆周外壁上固定套设有限位块,电机输出轴的末端螺纹连接有固定螺母,支撑架上还固定设置有L形支架,L形支架上固定设置有电动伸缩柱,电动伸缩柱的输出末端转动安装有调位组件,调位组件的内部活动设置有防脱落组件,调位组件的侧壁上连通固定设置有一对顶紧组件,本发明能够在不停机的情况下对已经松动的刀片进行固定,将切割至一半的晶圆继续切割完成再进行检修,减少了晶圆拿取的次数,能够降低半导体芯片受损的概率。
技术关键词
半导体芯片 切割装置 调位组件 设备外壳 顶紧组件 伸缩柱 异形板 L形支架 内腔 刀片 滑槽 移动组件 支撑块 安装杆 支架主体 永磁 防脱落组件 升降组件 控制器 警报器