应用于泛半导体领域的设备维护系统

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应用于泛半导体领域的设备维护系统
申请号:CN202510204951
申请日期:2025-02-24
公开号:CN120806905A
公开日期:2025-10-17
类型:发明专利
摘要
本申请公开了一种应用于泛半导体领域的设备维护系统,属于计算机技术领域。该系统包括:数据模块,用于获取目标设备的目标运行数据;大模型模块,用于基于大语言模型,根据所述目标运行数据,获取所述目标设备的故障诊断结果;维护预警模块,用于基于剩余使用寿命预测模型、整体设备效率提升模型和健康评估模型,对所述目标运行数据进行处理,基于处理的结果和所述故障诊断结果生成针对所述目标设备的设备优化建议。本申请公开的应用于泛半导体领域的设备维护系统,以降低对生产设备进行优化操作的难度。
技术关键词
剩余使用寿命预测 整体设备效率 大语言模型 半导体 数据模块 预警模块 机器学习模型 风险 图谱 周期性 报告 格式