末端执行器和使用其的衬底处理设备

提出了一种用于在衬底处理系统中输送衬底的末端执行器。末端执行器包括桨叶，其配置为支撑衬底，并且桨叶是平坦的；叶片部，其在桨叶的第一端连接到桨叶，其中，叶片部的远端设置有用于定位衬底的前突起；以及多个垫，其设置在多个孔中的每个中，其中，多个垫在传送衬底时接触衬底，并且其中，多个孔设置在桨叶和叶片部中。末端执行器可以允许垫的倾斜，使得衬底不会粘附。