摘要
本发明公开了一种基于大数据分析的芯片质量缺陷预测方法，本发明涉及芯片质量预测技术领域。包括五个步骤，通过构建芯片缺陷率预测模型并进行训练，通过芯片制程数据集进行样本选择并进行人工标注，通过新的芯片制程数据集对芯片缺陷率预测模型进行迭代训练，提高了芯片缺陷率预测模型的使用精度。本发明还公开了一种基于大数据分析的芯片质量缺陷预测系统，包括数据获取模块、数据处理单元、模型生成模块、模型训练模块、样本选择模块和训练迭代模块，通过选择合适预测的芯片制程数据并进行预处理，对获取到的检测图像进行缺陷分类判定，在标注少的客观条件下进一步改善了缺陷检测效果，提高了产品预测的可靠性，具有较强的预测精度。
