三轴调制器芯片结构和三轴光纤陀螺

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三轴调制器芯片结构和三轴光纤陀螺
申请号:CN202510218398
申请日期:2025-02-26
公开号:CN119714239A
公开日期:2025-03-28
类型:发明专利
摘要
本发明提供一种三轴调制器芯片结构和三轴光纤陀螺,三轴调制器芯片结构包括:电光调制芯片;输入光纤与芯片侧面连接;输入波导内嵌于芯片顶面,第一端与输入光纤耦合;一分三耦合器,总端口与输入波导第二端耦合;三个第一一分二耦合器,第一分支端口分别与一分三耦合器的三个分支端口耦合,第二分支端口分别与三个光电探测器耦合,总端口分别与三个第二一分二耦合器的总端口耦合;三组Y波导调制器,每组包括Y波导和调制电极,Y波导的两个分支臂的第一端与第二一分二耦合器的两个分支端口耦合;三个输出光纤组,每组包括两条输出光纤,分别与Y波导的两个分支臂的第二端耦合;封盖罩设芯片顶面。本发明无需熔接,降低装配难度,减小整体体积。
技术关键词
芯片结构 Y波导调制器 耦合器 铌酸锂薄膜 分支 光纤组 光电探测器 端口 二氧化硅 三轴光纤陀螺 缓冲层 电极 封盖 焊盘 衬底层