具有交错背侧互连的集成电路结构

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具有交错背侧互连的集成电路结构
申请号:CN202510224427
申请日期:2025-02-27
公开号:CN120727702A
公开日期:2025-09-30
类型:发明专利
摘要
本发明涉及具有交错背侧互连的集成电路结构。描述了具有交错背侧互连的结构。在示例中,集成电路结构包括前侧结构,该前侧结构包括具有多个基于纳米线的晶体管或多个基于鳍的晶体管的器件层,以及在器件层的多个基于纳米线的晶体管或多个基于鳍的晶体管上方的多个金属化层。背侧结构在器件层的多个基于纳米线的晶体管或多个基于鳍的晶体管下方。背侧结构包括具有交错背侧互连的金属化层。
技术关键词
集成电路结构 金属化 晶体管 纳米线 金属线 传送结构 通信芯片 集成电路管芯 数字信号处理器 信号线 通孔 功率 显示器 相机 存储器 电池