MEMS探针、探针台和探针台的测试方法

本发明提供了一种MEMS探针、探针台和探针台的测试方法；MEMS探针，用于对MEMS器件芯片进行测试，探针包括针头部件和压头部件，针头部件的长度在竖直方向上大于压头部件；其中：针头部件包括针头、针头基座、针头支架，针头和针头基座连接，针头基座和针头的悬臂梁第一端连接；压头部件包括压头、压头基座、压头支架，压头与压头基座连接，压头基座和压头支架的悬臂梁第二端连接；其中，压头部件接触MEMS器件的空腔并向空腔施加压力；针头部件与MEMS器件的引脚接触以测量MEMS器件的电信号，针头部件、悬臂梁和压头部件的制造成本远低于MEMS专用测试机的制造成本，降低了晶圆测试的测试成本。