一种键合银丝的质量检测方法及系统

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一种键合银丝的质量检测方法及系统
申请号:CN202510231336
申请日期:2025-02-28
公开号:CN120142604A
公开日期:2025-06-13
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种键合银丝的质量检测方法及系统,涉及键合质量检测技术领域,包括采用红外热像仪对键合区域进行扫描,获取键合过程中的温度场分布数据;采用磁导率测量探头对键合区域进行扫描,获取键合区域的磁导率分布数据;对所述键合区域进行10×10网格划分,并基于划分的网格对所述温度场分布数据和磁导率分布数据分别进行特征提取,得到热特征参数和磁特征参数;根据所述热特征参数和磁特征参数计算键合银丝质量评分,根据评分结果对银丝键合质量进行判断,得到键合质量评估结果。本发明突破了传统单一参数检测的局限,显著提升了键合质量评估的准确性和可靠性,为键合工艺水平的提升提供了系统化的技术支撑。
技术关键词
键合银丝 网格 红外热像仪 温度校准 特征值 数据采集模块 测量点 测试平台 三次样条插值算法 特征提取模块 矩阵 标记 空间分布特征 黑体辐射源 曲面 防振结构 探头 采样点 坐标