一种转盘式芯片高速清洗检测台及设备

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一种转盘式芯片高速清洗检测台及设备
申请号:CN202510266460
申请日期:2025-03-07
公开号:CN120347025A
公开日期:2025-07-22
类型:发明专利
摘要
本发明涉及芯片清洗检测设备技术领域,具体涉及一种转盘式芯片高速清洗检测台及设备,该检测台包括多工位转盘机构、位置定位机构、端面检测机构、清洗机构和金线检测机构;多工位转盘机构包括回转台以及环绕回转台周向等分设置的多个周转吸嘴;多个周转吸嘴对应回转台上的上料工位、下料工位和多个周转工位设置;位置定位机构、端面检测机构、清洗机构和金线检测机构依次沿回转台的周向设置于多个周转工位处;且位置定位机构、端面检测机构、清洗机构和金线检测机构对应沿回转台的径向设置于多个周转吸嘴的外侧;位置定位机构能够定位芯片位置。转盘式布局缩短了芯片在各工位间的周转路径,多个工位同时作业,提升了设备对芯片的检测清洗效率。
技术关键词
端面检测机构 位置定位机构 多工位转盘机构 回转台 芯片检测设备 清洗机构 角度定位机构 搬运机构 检测台 顶料机构 调节器 滑移机构 检测相机 转接板 清洗检测设备 上料机构 升降机构