半导体设备及其制造方法

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半导体设备及其制造方法
申请号:CN202510285327
申请日期:2025-03-11
公开号:CN120659368A
公开日期:2025-09-16
类型:发明专利
摘要
本公开的实施例涉及半导体设备及其制造方法。半导体设备包括:半导体衬底;层间绝缘膜;第一电极焊盘和第二电极焊盘;以及第一镀膜和第二镀膜。半导体衬底具有第一主表面和第二主表面,第二主表面与第一主表面相对。半导体衬底充当n型漏极区域。半导体衬底包括:n型源极区域;p型沟道区域,p型沟道区域与源极区域的侧面相邻,侧面更靠近第一主表面,并且p型沟道区域被pn键合到源极区域和漏极区域;以及p型阱区域,p型阱区域被pn键合到漏极区域。层间绝缘膜被形成在第二主表面上。第一电极焊盘和第二电极焊盘被形成在层间绝缘膜上,并且被分别电连接到源极区域和阱区域。
技术关键词
半导体设备 接触构件 半导体衬底 镀膜 焊盘 栅极电极 沟槽栅极 栅极沟槽 无电镀方法 上形成层间绝缘膜 键合线 焊料 芯片 图案 尺寸