一种多功能传感系统的微流控芯片的制备方法

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一种多功能传感系统的微流控芯片的制备方法
申请号:CN202510316620
申请日期:2025-03-18
公开号:CN120227902A
公开日期:2025-07-01
类型:发明专利
摘要
本申请涉及微流控技术及传感器领域,公开了一种多功能传感系统的微流控芯片的制备方法,通过用紫外激光打标机并设置好特定的参数进行激光切割出圆形PET膜,再粘贴3M胶后在进行激光切割制备微流控芯片泄压阀层,在阀门处粘贴PI膜切割成的挡板后进行等离子清洗,清洗后揭掉挡板,粘贴3M胶带后切割通道主体,再以设定的激光参数扫描制备的PI膜,获取碳化度高的激光诱导石墨烯,最后通过紫外激光切割机自带的C4D软件,对激光诱导的图案进行个性化设计并切割,选取合适的图案作为微流控芯片的检测电极,最后把微流控芯片泄通道层和激光诱导石墨烯制备的检测电极进行PET封装,再将微流控芯片各层全面封装制备微流控芯片。
技术关键词
多功能传感系统 激光诱导石墨烯 微流控芯片 紫外激光切割机 紫外激光打标机 检测电极 PET膜 3M胶带 激光切割参数 脉冲波 微流控技术 通道 图案 PI膜 软件 阀门