晶圆的翘曲度和弯曲度检测系统及其检测方法

本发明涉及晶圆的翘曲度、弯曲度检测技术领域，尤其涉及一种晶圆的翘曲度和弯曲度检测系统及其检测方法，检测系统，包括：激光器、扩束镜、光阑、分光棱镜、准直镜、参考镜、成像透镜、CCD以及计算机，光束经过待测样品反射后原路返回与参考光发生干涉，以产生三组干涉条纹，并经过成像透镜、CCD以及计算机后计算以得到待测样品的翘曲度和弯曲度。本发明利用波长可调的谐菲索干涉仪采集双面抛光待测样品的多表面干涉条纹图，并经过计算得到待测样品的翘曲度和弯曲度，解决了因两台干涉仪测量面形或者翻转测量面形时造成的映射误差问题，进而能够简化晶圆翘曲度和弯曲度的检测步骤，并提高其检测结果的精度。