一种高精度非对称硅基MZI微弱电信号传感器

本发明涉及硅基光子芯片技术领域，具体涉及一种高精度非对称硅基MZI高精度非对称硅基MZI微弱电信号传感器。现有的生理电信号检测主要采用电学方法，存在佩戴不适、运动伪影严重、易受环境干扰等问题。硅基光子集成技术具有高灵敏度、强抗干扰等优势，但传统对称MZI传感器的检测精度和灵敏度有限。本发明提出一种非对称硅基MZI传感器，引入特殊的有机电光聚合物作为波导包层，并优化了器件结构，使传感器在宽量程、低驱动电压条件下实现了0.1mV的高检测精度和0.46mW/V的高灵敏度，为人体微弱生理电信号如心电、肌电、脑电等的无创连续监测提供了新方案，在疾病诊断、健康监测等领域具有广阔的应用前景。