基于超透镜的红外光电探测器及其制作方法

本申请涉及半导体器件技术领域，具体涉及一种基于超透镜的红外光电探测器及其制作方法。其中，基于超透镜的红外光电探测器包括：管座、金属管帽和探测器芯片，金属管帽与管座固定连接并形成全封闭式封装结构，探测器芯片封装于管座和金属管帽之间，探测器芯片的芯片电极与管座的引脚焊接，金属管帽顶部为超透镜，侧壁为金属管壳，超透镜包括超透镜基底和周期性排列于超透镜基底上方的超透镜单元。基于超透镜的红外光电探测器能够利用超透镜上周期性排列的超透镜单元，提高入射光的透射率，并且能够抑制反射光的干涉效应，进而提高红外光电探测器的探测率。