一种柔性微结构电容式压力传感器、制备方法、应用

本发明提供了一种柔性微结构电容式压力传感器、制备方法、应用，属于传感器技术领域，包括以下步骤：S1、制备微结构电极层；S2、制备微结构介电层；S3、组装柔性微结构电容式压力传感器。基于三明治结构组装柔性微结构电容式压力传感器，柔性微结构电容式压力传感器的上下两层均为微结构电极层，两个微结构电极层导电表面相对排列，在两个微结构电极层之间的中间层插入微结构介电层。本发明采用上述的一种柔性微结构电容式压力传感器、制备方法、应用，解决了现有技术中传统传感器难以满足复杂形状识别的需求，现有的柔性压力传感器制备成本高，制备工艺复杂的问题。