一种集成电路器件电场偏微分方程的求解系统、训练方法及求解方法

本发明公开了一种集成电路器件电场偏微分方程的求解系统、训练方法及求解方法，属于集成电路技术领域；在分别提取到集成电路器件的几何参数、电学参数和材料属性的全局特征后，通过融合模块构建几何‑电学‑材料三耦合机制对几何参数、电学参数和物理属性的全局特征进行融合，首先引入物理场一致性映射机制，将电学特征映射至与几何特征对齐的高维特征空间，确保两者在空间上的一致性和表达上的互补性，增强电学特征与几何特征的耦合能力，然后通过注意力机制，动态评估几何参数、电学参数和材料属性在不同电场区域的相互影响程度，动态实现三者特征的深度耦合，解决了集成电路器件电场求解中非线性复杂区域的表达问题，提高了求解的准确性。