摘要
本发明公开了一种基于单光子计数的显微自动对焦方法,涉及自动对焦领域,包括采用光子计数器获取多路通道信号,根据多路通道信号进行单像素成像,确定样品的灰度图;通过采用清晰度评价算子与灰度图进行卷积,得到该位置的清晰度评价值,将当前位置与上一位置的清晰度评价值进行比较,确定初步焦点位置,将纳米压电平移台移动至初步焦点位置;将初步焦点位置作为下一次搜索区间的中心点,确定目标区域,采用改进型爬山搜索算法对目标区域进行调节,确定最终焦点位置;将纳米压电平移台从初步焦点位置移动至最终焦点位置,实现自动对焦。