一种解决双面封装植球球高的方法

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一种解决双面封装植球球高的方法
申请号:CN202510372140
申请日期:2025-03-27
公开号:CN120221424B
公开日期:2025-10-28
类型:发明专利
摘要
本发明涉及半导体集成电路制造技术领域,尤其涉及一种解决双面封装植球球高的方法,包括以下步骤:S1.将元器件和芯片贴装在载板上表面,将功能器件贴装在载板下表面,并在载板下表面进行植球,形成整齐排列的锡球;S2.对载板上下表面进行环氧树脂塑封,环氧树脂固化为上塑封体和下塑封体;S3.通过研磨部件对下塑封体进行研磨,露出与下塑封体表面齐平的圆形平面锡球,通过镭射打孔部件对锡球周围进行镭射,消除锡球周围的下塑封体,露出半球形的锡球;S4.将镭射后的载板送入回流炉内,通过回流炉内高温条件,将半球形的锡球重塑为球形,通过控制锡球与锡球之间的挡墙宽度来制定锡球球体高度,不需要二次植球来达到球高要求,减少封装作业流程。
技术关键词
芯片封装产品 打孔部件 环氧树脂塑封 滑板 双面 锡球 托架 半球形 喷水管 半导体集成电路 气缸 支架 元器件 激光头 电机 滑块 升降板 支撑杆