一种单晶硅半导体芯片切割装置

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一种单晶硅半导体芯片切割装置
申请号:CN202510379786
申请日期:2025-03-28
公开号:CN119974250A
公开日期:2025-05-13
类型:发明专利
摘要
本发明涉及切割装置领域,特别是一种单晶硅半导体芯片切割装置,包括切割部件,包括主轴,设置于所述主轴上的锯片,以及设置于所述主轴后侧的支撑台;挡水部件,包括设置于所述支撑台前侧的遮挡组件,设置于所述主轴上的滑移组件,设置于所述滑移组件上的推动组件,以及设置于所述推动组件上的封闭组件;延长部件,包括设置于所述封闭组件上的旋转组件,设置于所述旋转组件上的导向组件,设置于所述导向组件上的轮齿组件,以及设置于所述封闭组件上的引导组件,本发明所述装置能够自动进行锯片前侧挡水与挡水解除,无需人工转动盖板上的螺杆,使用方便,提高切割的整体速度。
技术关键词
半导体芯片 切割装置 单晶硅 封闭组件 滑移组件 扇形板 旋转组件 导向组件 半圆环 遮挡组件 引导组件 挡水部件 移动环 防水带 切割部件 支撑台 弧形板 钢丝绳 转接板 引导板